柳澤道彦

发布日期:2025-07-04

讲师姓名:柳澤道彦

讲师职务:日本康肯工程技术有限公司 研究部 部长

讲师简介:

2003年毕业于东京大学工学系研究科,获得工学博士学位。

专业领域为等离子刻蚀,尤其是Si与F自由基的反应及其应用研究。

2016年加入Kanken Techno Co.,LTd.,从事Inline等离子装置、减压除害装置等新产品的开发工作。

演讲主题:

全新的废气处理技术!“Inline等离子体技术”的未来展望

演讲概要:

近年来,对Local Scrubber所承担的功能要求日益提升。不仅需要确保设备的稳定运行与安全性,在废气处理技术方面,如氮氧化物去除(DeNOx)和CO₂减排等环保目标上也面临诸多挑战。目前主流的处理方式为燃烧式、电加热式和大气压等离子体式。然而,随着处理性能需求的提高,这些技术往往伴随着系统结构的复杂化、设备体积的增大以及运行成本的上升。

“Inline等离子体方式”是一项有望同时解决上述这些问题的技术。本次演讲围绕该技术的研发进展,探讨其在未来废气处理领域的应用前景与发展方向。